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Renishaw圆光栅

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“Renishaw圆光栅”参数说明
运动方式: 角度位移
“Renishaw圆光栅”详细介绍
1、高速、非接触光学性能
2、零反向间隙,速度可达到4500rev/min
3、刻划精度达+/-0.5角秒,角度分辨率达到0.004角秒
4、SR读数头按IP64标准密封,具有很强的防护功能
5、周期误差小于+/-30nm,与UHV兼容
6、专利的锥面安装方式极大减少了安装误差,简化了系统集成
编辑:广州元茂兴控制设备技术有限公司  时间:2018/05/11

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